Lam Research Corp

紹介

Lam Research Corporation は、集積回路の製造に使用される半導体処理装置の設計、製造、販売、再生、およびサービスを行っています。同社は、タングステンメタライゼーション用途のコンフォーマルフィルムを堆積させる ALTUS システム、銅相互接続遷移のための SABRE 電気化学的堆積製品（銅ダマシン製造を提供）、および VECTOR プラズマ強化 CVD 製品を提供しています。また、SPEED ギャップフィル高密度プラズマ化学気相成長製品、および誘電体膜ソリューションのための Striker シングルウェハー原子層堆積製品も提供しています。さらに、同社は誘電体エッチング用途の Flex、RF テクノロジーと機器インテリジェンスソリューションによって実現される繰り返し可能なウェハー間性能を提供する誘電体エッチングシステムである Vantex、導体エッチング用途の Kiyo、シリコン貫通ビアエッチング用途の Syndion、および金属エッチングプロセスの Versys メタル製品を提供しています。さらに、同社はダイ歩留まりを向上させる Coronus ベベル洗浄製品、およびさまざまなウェハー洗浄用途に対応する Da Vinci、DV-Prime、EOS、および SP シリーズ製品を提供しています。同社は、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾で製品を販売しています。Lam Research Corporation は 1980 年に設立され、カリフォルニア州フレモントに本社を置いています。